플라스마 기술 개발이 활발하다. 플라스마는 형광등, 디스플레이, 반도체 집적회로 가공 등 응용 분야가 다양한 기술이다.
특허청은 플라스마 특허 출원(신청)이 최근 5년간(2012~2016년) 급증했다고 3일 밝혔다. 2012년 출원은 15건에 그쳤으나 지난해 165건으로 늘었다. '플라스마'란 기체에 큰 에너지를 가해 원자핵과 전자가 나뉜 상태를 말한다. 고체 상태 물질이 에너지를 받으면 액체에서 기체로 변하는데, 이때 기체에 더 큰 에너지를 가해 플라스마를 만든다.
플라스마 특허 내국인 출원은 2014년 4건을 시작으로 △2015년 75건 △2016년 108건으로 꾸준히 증가했다. 내국인 출원 현황을 보면 지난해 기준(108건) △산업계 86건 △학계 13건 △연구계 7건 △개인 2건으로 나타났다.
기술 분야별 출원은 최근 5년간 △표면처리용 플라스마 처리장치 283건 △플라스마 발생장치 62건 △플라스마 이용 검사장치 46건 등이다.
성백문 특허청 전력기술심사과장은 “플라스마는 반도체 고밀도 집적회로 등 정밀한 제조 공정과 디스플레이, 플라스마 처리 섬유 등 산업 공정 곳곳에 적용된다”며 “살균과 상처 치료에도 적용돼 환경, 식품, 바이오, 의료, 미용 등 활용폭이 확대될 전망”이라고 말했다.
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나유권 IP노믹스 기자 ykna@etnews.com
