한국기초과학지원연구원(KBSI·원장 신형식) 소속 장기수 광분석장비개발연구부장이 '2018년도 정부출연연구기관(출연연) 10대 우수 연구성과 시상식'에서 과학기술정보통신부 장관상을 수상했다.
장 부장은 '공초점 열반사 현미경 개발 및 상용화' 기술을 개발한 공로를 인정받아 수상 영예를 안았다. 시상식은 13일 한국식품연구원에서 열렸다.
공초점 열반사 현미경은 레이저 빛을 이용해 마이크로미터(㎛) 크기 전자소자 내외부 발열을 입체 측정하는 연구장비다. 기존 적외선 방식 열영상 현미경보다 해상도가 10배 뛰어나다.
소자 표면뿐만 아니라 내부 발열 분포까지 측정 가능한 최초 장비다. 반도체, 디스플레이를 비롯한 국내 주력산업 발열문제 해결에 널리 활용될 것으로 기대를 모으고 있다. 이미 지난해 제품 출시로 국내대학과 연구기관에 즉시 판매가 이뤄진 상태다.
장기수 부장은 “공초점 열반사 현미경은 세상에 없던 신개념 연구장비”라며 “기술이전 이후에도 사업자·이용자와 지속 협력하며 상품성 향상을 위해 노력한 점을 인정받은 것 같다”고 말했다.
대전=김영준기자 kyj85@etnews.com
