[미리보는 세미콘 코리아 2020] <8>린텍코리아

린텍코리아(대표 전성길)는 새해 2월 열리는 세미콘 코리아에서 회사 주력 제품인 기화기(Vaporizer)와 유량조절계(Mass Flow Controller)를 집중적으로 선보일 계획이다.

기화기는 말 그대로 액체 원료를 기체로 만들어 공급하는 장치다. 반도체 제조 과정에서 기화기는 디퓨전 공정에 사용된다.

유전막 생성 목적으로 액체 프리커서를 직접 기화시켜 가스로 만들고 이를 증착장비(CVD) 진공 챔버에 공급하는 용도로 기화기가 쓰인다.

반도체에서 유전막은 전기선의 피복선과 같은 절연막 역할을 한다. 전하가 새거나 주변 커패시터와의 간섭을 막는 것이다.

D램 선폭이 좁아지면서 유전막의 중요성 역시 커지고 있는데, 린텍코리아 기화기는 다양한 액체원료를 대유량으로 기화 공급할 수 있다는 게 특징이다.

린텍코리아 관계자는 “양질의 유전막을 위해 반도체 공정에서는 하프늄(Hf), 지르코늄(Zr) 등 새로운 원료가 사용되고 있다”며 “VU-900 시리즈의 경우 현재 관련 유전막 양산 공정에 성공 적용되고 있다”고 말했다.

린텍코리아 기화기 VU-900

기화기 구조

린텍코리아 유량조절계(MFC)는 제조 공정에 주입되는 가스 양을 측정하고 제어하는 장치다.

반도체나 디스플레이는 미세 기술 및 공정으로 만들어지기 때문에 정밀 제어가 필수다. 투입되는 소재나 원료에 작은 오차라도 생기면 품질 문제로 직결된다.

린텍은 1980년대 후반부터 〃〃MFC를 만들어 차별화된 경쟁력을 쌓았다. 린텍 MFC 중 최신 제품인 MC-7000 시리즈는 독자적인 자기온도 보상방식을 채택해 부식성 가스나 액화 가스에도 대응할 수 있다. 높은 유량 정확도(±1.0%SP)를 보증하고 고속 응답(0.2sec 이하)도 구현했다.

린텍은 MFC 분야에서 디지털 통신 제품을 최초 출시하고 외부 온도에 영향을 받지 않는 제품, 특수 가스에도 대응할 수 있는 안전성을 강화한 제품 등 다양하면서 선도적인 MFC를 선보였다.

린텍코리아는 일본 린텍(LINTEC)의 한국영업소로 출발했지만 연구개발(R&D) 기능을 수행하며 한국 반도체·디스플레이 업계에서 영토를 확장해왔다. 새해는 R&D 투자를 강화해 성장을 추진할 계획이다.


전성길 린텍코리아 대표는 “새해에는 MFC 국산화와 유량 센서를 이용한 제품 라인업을 추진할 방침”이라며 “공격적 R&D 투자가 이뤄지는 해가 될 것”이라고 말했다.

린텍 MFC MC-7000

윤건일기자 benyun@etnews.com