국내 반도체 장비업체 제우스가 핵심 장비 국산화를 위한 거점 구축에 나섰다.
제우스(대표 이종우)는 최근 반도체 세정장비 관련 일본 현지 자회사 'J.E.T'를 통해 국내 반도체 장비 생산 법인을 설립했다고 23일 밝혔다.
이를 통해 그동안 수입에 의존한 배치(Batch) 타입 장비를 국내에서 생산할 수 있는 발판을 마련했다. 배치는 20~50매 웨이퍼를 한꺼번에 동시 세정하는 형태다.
제우스는 현재 세부 개발 공정과 생산 인력을 구성하는 한편 경기도 화성시 안녕동 일대 통합사업장에 생산시설을 마련하고 있다. 올 하반기에 본격적 생산 준비를 완료할 계획이다. 또 경기도 화성시 마도면에는 반도체 웨이퍼 테스트 공장(바이오벨리)을 준공, 반도체 생산 장비 품질을 극대화한다.
제우스가 추진하는 반도체 장비 국산화 계획은 일본 자회사 'J.E.T'가 현재 생산 중인 배치 타입 장비 제조 기술을 들여오는 게 골자다. 개발 과정에서 실패 위험성이 낮다.
제우스 관계자는 “싱글(Single)은 물론 배치 타입 장비를 마련해 국내 생산 기술을 확보했다”면서 “반도체 세정 장비 분야 선도 기업으로 성장할 기틀을 마련했다”고 말했다.
윤희석기자 pioneer@etnews.com
