2004년 2월 설립한 영우디에스피(대표 박금성)는 디스플레이 및 반도체 검사장비 개발 전문기업이다. 디스플레이 후공정 검사 장비를 주력제품으로 최근 이차전지 검사장비, 서빙로봇, 스마트 헬스케어 등으로 사업영역을 확대하고 있다. 한국광기술원 등과 자외선 광학소재 부품 국산화 과제를 통해 반도체 초미세 결함 분석 및 검사 실증장비 국산화를 추진할 계획이다.
영우디에스피가 개발할 예정인 장비는 193㎚ 심자외선(DUV) 레이저 광원을 이용, 웨이퍼 초미세 패턴에서 10㎚급 결함을 분석·검사할 수 있다. 광학모듈 성능을 평가하고 웨이퍼 초미세 패턴 검사를 실증하는 것을 목표로 한다. 이를 위해 레이저 광원, 대물렌즈, 광학소자, 초정밀 스테이지 및 검사 알고리즘 기술의 종합적인 개발을 추진할 계획이다. 웨이퍼 초미세 패턴 분석 및 검사 실증 장비는 국내외 메이저 반도체소자 제조업체와 디스플레이 패널 제조업체에 활용이 가능하다.
이 회사는 사업다각화 일환으로 반도체 검사장비 개발 및 소재부품 국산화도 추진한다. 기존 디스플레이 검사장비 제조 사업을 기반으로 반도체 분야로 진출한다는 전략이다. 자외선 광학소재 부품 국산화 과제 외에도 고객사와 함께 웨이퍼 후면연마 검사, 수㎚급 광학센서 개발을 긴밀하게 진행하고 있다. 초정밀 레이저 검사 광학모듈 개발을 위해 한국기초과학지원연구원과 한국표준과학연구원에서 관련 기술을 이전받기 위한 양해각서(MOU)를 교환했다.
영우디에스피는 삼성디스플레이를 비롯해 중국 BOE, CSOT, 티엔마, GVO, JDI 등 대형 디스플레이 업체를 고객사로 보유하고 있다. 지난해 매출 1016억원을 달성했으며 올해는 전년 대비 48.6% 늘어난 1510억원으로 큰 폭 실적 성장을 예상하고 있다.
박금성 대표는 “그동안 디스플레이 및 반도체 장비를 개발하면서 축적한 초정밀 광학 설계 및 계측 기술, 검사 알고리즘 기술 및 인공지능(AI) 기술을 바탕으로 반도체 초미세 결함 검사장비 개발 및 관련 소재부품 국산화에 최선을 다하겠다”고 말했다.
김한식기자 hskim@etnews.com
