스미토모화학이 한국에 불화아르곤 이머전(ArFi) 포토레지스트 공장을 짓는다.
스미토모화학은 31일 보도자료를 내고 동우화인켐 익산 공장에 ArFi 포토레지스트 생산라인을 신설하겠다고 밝혔다.
동우화인켐은 스미토모화학 100% 자회사다. 스미토모는 회계연도 기준 2024년 상반기에 신설 공장을 가동할 계획이라고 밝혔다. 투자규모, 생산능력 등은 공개하지 않았다.
포토레지스트(PR)는 빛으로 회로를 만들어내는 노광 공정에 필수로 사용되는 소재다. 불화크립톤(KrF), 불화아르곤(ArF), 극자외선(EUV) 등 광원에 따라 PR도 다르다.
ArF 노광은 웨이퍼에 도달하는 빛의 굴절을 위해 공기를 사용하는 드라이 방식과 빛 굴절률이 높은 액체를 사용하는 이머전 방식이 있는데, 스미토모화학이 양산하는 건 이머전 PR이다.
스미토모가 ArFi PR을 한국서 생산하는 건 처음이다. 2019년 일본 정부의 수출규제 이후 삼성전자와 SK하이닉스가 공급망 안정화를 위해 소재 국산화 및 공급선 다변화를 추진하면서 스미토모도 한국 내 생산을 결정한 것으로 보인다. 스미토모에 앞서 TOK는 인천 송도로 EUV PR 생산 거점을 옮겼고, 듀폰도 한국에 EUV PR 공장을 짓기로 했다.
윤건일기자 benyun@etnews.com
