국내 친환경 반도체 공정장비 기업 지앤비에스엔지니어링이 인텔에 무폐수 스크러버를 공급한다. 자체 브랜드로 인텔에 공급하는 국내 첫 사례다. 이미 초도 물량 납품을 마치고 내년 100여대 추가 공급을 앞뒀다. 독일의 건식 스크러버 약제 생산 전문업체와 공동으로 유럽 시장 진출도 타진하고 있다.
박상순 지앤비에스엔지니어링 대표는 “SK하이닉스에 이어 자체 브랜드로 인텔에 무폐수 스크러버를 공급하는 국내 첫 기업이 됐다”면서 “반도체 공정 전반에서 높아지는 친환경 수요를 충족할 수 있는 원천 기술로 세계 시장을 공략할 계획”이라고 밝혔다.
지앤비에스엔지니어링은 반도체 공정에서 과불화탄소(FPCs)류 가스를 절감해주는 장비인 스크러버를 주력으로 생산한다. 고온의 플라즈마로 가연성 가스를 연소시키는 방식으로 유해 물질을 처리한다. 이 회사의 스크러버는 물을 사용하지 않아, 공업용수 사용을 최소화할 수 있다는 장점이 있다.
스크러버 장비 시장 후발 주자인 지앤비에스엔지니어링에게 오·폐수를 줄일 수 있는 친환경 기술은 기회로 작용했다. 회사는 2017년말 SK하이닉스 식각 공정에 첫 납품을 완료하고 현재 양산 설치에 들어갔다. 현재 여타 제조 공정에도 무폐수 스크러버 도입을 위한 장비 검증 수행에 한창이다.
박 대표는 “반도체 공정의 환경·사회·지배구조(ESG) 경영 요구 뿐만 아니라 무폐수 스크러버 한 대로 연간 2365톤의 용수 사용을 줄일 수 있다는 점에서 비용 문제도 해결할 수 있는 장점이 생긴다”고 말했다.
회사의 친환경 기술은 이미 세계에서 인정받고 있다. SK하이닉스 뿐만 아니라 인텔과 중국 최대 반도체 제조사인 SMIC에도 스크러버 장비를 공급 중이다. 특히 인텔에는 올해 1분기 처음으로 자체 브랜드를 달고 납품을 개시했다. 향후 인텔의 파운드리 사업 투자 확대에 따른 추가 매출에도 기대를 걸고 있다. 독일의 스크러버 약제 제조사 CS클린솔루션과 함께 유럽 시장 진출도 타진한다.
빠르게 시장에 안착할 수 있던 것은 반도체 공정 전반에 이해가 높은 전문가가 모였기 때문이다. 박 대표는 회사 창업 이전에도 10년 이상을 알카텔진공코리아의 동아시아 총괄로 공정장비 시장에서 경력을 쌓아왔다. 알카텔진공은 반도체 공정의 필수 환경인 진공을 만들어주는 진공펌프를 생산하는 글로벌 업체다.
박 대표는 “가스 공급시스템부터 진공펌프, 그리고 스크러버까지 이어지는 반도체 주요 공정의 모든 흐름을 알고 있기에 친환경 기술 개발도 가능했던 일”이라면서 “향후 파트너사를 확보해 진공펌프 일체형 처리장치까지 개발하는 것이 목표”라고 강조했다.
회사의 친환경 기술은 반도체 영역 바깥에도 적용되고 있다. 백연제거장치를 개발해 지난해부터 주요 열병합 발전소에 납품을 개시했다. 백연제거장치 역시 회사의 플라즈마 기술을 발전시켜 개발한 제품이다.
회사는 코스닥 상장을 앞두고 있다. 유입된 자금으로 반도체용 진공펌프 제조사 인수와 제3공장 신축을 추진할 계획이다. 지앤비에스엔지니어링은 오는 14~15일 수요예측을 거쳐 공모가를 확정하고, 19~20일 청약을 실시해 이달 중 상장할 예정이다.
<회사개요>
안성=
유근일기자 ryuryu@etnews.com
