한국머크는 반도체·디스플레이 산업 발전에 기여한 연구개발 공로로 한양대 박진성 신소재공학과 교수와 박태주 재료화학공학과 교수를 '머크 스페셜 어워드' 수상자로 선정했다고 17일 밝혔다.
박진성 교수는 첨단 원자층증착(ALD)과 화학기상증착(CVD) 박막 응용을 위한 핵심 소재 연구 성과를 인정받았다. 그는 디스플레이 기기용 투명 전극 소재나 형태 제한이 없는 디스플레이 기기를 위한 박막 인캡슐레이션 소재 등 차세대 정보기술(IT) 기기 구현을 위한 소재 개발에 집중하고 있다. 박 교수는 “ALD 소재와 공정을 반도체와 디스플레이 업계에 폭넓게 적용할 수 있도록 최선을 다하겠다”고 밝혔다. 박 교수는 한양대 정보소재 및 전자소자 연구실장을 겸하고 있다.
박태주 교수는 첨단 ALD 기술에 대한 연구 공로를 인정받았다. 박 교수는 국내 젊은 ALD 전문 교수들을 이끌며 배터리와 화학적기계연마(CMP) 슬러리를 위한 분말 ALD 공정을 중심으로 반도체 디바이스를 위한 ALD 공정과 분석 연구를 진행 중이다. 나노소자공학연구실, 원자수준공정·신소자·첨단 ALD 연구센터, 한양대학교 IUCC와 함께 한국학술진흥재단의 영역선택적 원자층공정 센터에서 연구하고 있다.
김우규 한국머크 대표는 “머크는 지속적이며 활발한 내부 혁신과 연구공동체와의 협업으로 일렉트로닉스만 아니라 헬스케어, 생명과학 등 새로운 분야에서 과학적 성과를 거둬 한국 고객사 성장을 지원할 예정”이라고 강조했다.
권동준기자 djkwon@etnews.com
