영창케미칼이 반도체 극자외선(EUV) 공정용 소재 국산화에 속도를 내고 있다. EUV 세정액(린스)과 감광액 개발로 제품 포트폴리오를 다각화, 급증하는 EUV 소재 수요에 대응한다.
영창케미칼은 최근 EUV 노광 공정용 린스 시제품 개발했다. 삼성전자와 SK하이닉스 등 반도체 소자업체와 성능 품질 평가(퀄)를 진행 중이다. 품질 평가를 통과하면 본격적인 양산 라인 구축에 돌입한다. 영창케미칼 관계자는 “EUV 린스는 현재 고객사 성능 평가 단계”라며 “문제가 없으면 내년 초 양산을 개시하는 것이 목표”라고 밝혔다.
반도체 린스는 웨이퍼 노광 공정 후 남은 감광액(PR) 찌꺼기를 씻어내는 재료다. EUV 공정이 확대되면서 세정 역할뿐 아니라 굳어진 PR가 붕괴되는 것을 막기 위한 소재로 주목받고 있다. 영창케미칼은 현재 불화아르곤(ArF)과 불화크립톤(KrF)용 린스를 상용화했다. EUV 린스까지 완료하면 반도체 노광 공정용 린스 제품을 대부분 갖추게 된다. EUV 린스는 사실상 외산 100%로 수입 의존도가 매우 높다.
영창케미칼은 EUV 시장이 확대되면서 EUV 린스 수요도 늘어날 것으로 판단, 국산화에 도전했다. 2004년 업계 최초로 반도체 노광 공정용 린스 양산에 성공한 경험과 기술 노하우를 활용해 EUV 린스를 개발하고 있다. 영창케미칼이 EUV 린스 상용화에 성공하면 국내 업계 최초 국산화 사례가 될 것으로 기대된다.
영창케미칼은 EUV PR도 개발한다. EUV 소재 포트폴리오를 다변화하려는 포석이다. 영창케미칼은 2009년 업계 최초로 아이라인(i-line)용 PR를, 2014년 KrF용 PR를 상용화했다. 영창케미칼 관계자는 “EUV PR는 장기 프로젝트로 연구개발을 추진 중”이라며 “가시적인 성과를 내기 위해 노력하고 있다”고 밝혔다.
권동준기자 djkwon@etnews.com
