코비스테크놀로지가 극미세·극미소 반도체 웨이퍼 질량 계측 장비(메트롤로지)를 국산화했다. 국산 웨이퍼 질량 계측 장비 등장으로 외산 일색 시장에서 반도체 제조사 선택권이 확대됐다. 코비스테크놀로지는 시장 공급에도 성공했다.
코비스테크놀로지는 미세한 웨이퍼 질량 변화를 측정할 수 있는 장비 '옵티매스'를 개발했다고 24일 밝혔다. SK하이닉스와 1여년간 공동 개발한 제품이다. 이미 초도 물량을 공급했다. 올해 중 추가 납품을 준비 중이다.
웨이퍼 질량 계측 장비는 공정 작업 전후 웨이퍼 무게를 마이크로그램(100만분의 1그램) 수준으로 측정한다. 증착이나 박막 공정 전에 웨이퍼 무게를 재고 공정 후 무게를 측정·비교한다. 각종 공정 물질이 정확한 양으로 웨이퍼에 증착·박막 됐는지 실시간으로 파악할 수 있다. 안정적인 공정 진행을 위해 꼭 필요한 장비다.
현재 세계 반도체 웨이퍼 질량 계측 장비는 램리서치가 독점하고 있다. 반도체 패턴 결함을 검사하는 '인스펙션' 장비보다 국산화가 더딘 상황이다. 사실상 국산화율 '제로(0%)'인 셈이다.
코비스테크놀로지는 10여년 이상 초정밀 계측용 전자저울인 계량 로드셀을 개발, 높은 기술력을 확보했다. 웨이퍼 질량 계측 장비에서 활용하는 핵심 장치다. 회사는 미세 전단력 측정 장비 등에 해당 기술을 적용, 질량 계측 기술 경험과 노하우를 축적했다. 또 계량 로드셀을 제어해 오류 없이 소수점 여섯자리 질량 데이터를 확보할 수 있다. 계량 로드셀에서 발생하는 각종 신호를 해석하는 능력도 뛰어나다. 기존 외산 장비 대비 웨이퍼 계측 처리량을 10% 이상 끌어올렸다는 것이 회사 설명이다.
코비스테크놀로지는 성능과 가격 경쟁력을 앞세워 빠르게 시장을 공략한다. 이미 확보한 인스펙션, 두께·형상 측정 장비, 파괴 시험 장비 등과 함께 회사 신성장 동력 제품으로 내세운다. 현재 웨이퍼 계측 처리량을 두 배 늘린 신제품도 개발 중이다. 올해 하반기 출시할 계획이다.
임은재 코비스테크놀로지 대표는 “SK하이닉스와 공동 개발로 외산 웨이퍼 질량 계측 장비를 대체할 국산 장비를 만들 수 있었다”며 “장비 국산화뿐만 아니라 공급 기회까지 열어 준 SK하이닉스의 상생 협력에 감사한다”고 말했다.
권동준기자 djkwon@etnews.com
