나노종합기술원은 반도체 테스트베드 기반 소부장 서비스 영역 확대, 시스템반도체 지원역량 강화를 위해 삼성에서 보유한 12인치 반도체 장비 3대를 나노팹에 이전 설치한다고 29일 밝혔다.
나노종기원은 지난해 3월 국내 최초로 12인치 반도체 소부장 테스트베드를 구축, 관련 기업과 연구기관 등에 양산단계 기술개발과 실증 성능평가 서비스를 제공하고 있다. 삼성 보유 장비 매각 이전 지원으로 핵심 장비인 ArF 이멀전 스캐너(12인치 노광장비)를 확보, 테스트베드를 조기 구축할 수 있었다.
이후 삼성 보유 가용장비를 공공나노팹 시설에 저가 이전할 수 있도록 추가 협의해 지난해 3대에 이어 올해 3대 등 장비를 이전하게 됐다.
올해 삼성 이전 장비는 300㎜ 금속박막 증착 스퍼터링(Sputtering), 실리콘 산화막 및 질화막 식각장비, 폴리실리콘 식각장비다. 다중체임버로 구성돼 다양한 소재·부품·장비 개발 및 실증테스트, 기존 200㎜ 공정장비와 연계한 300㎜ 수준 차세대 시스템반도체 개발에 활용할 수 있다.
나노종기원은 이번 이전을 계기로 소부장 테스트베드 장비 확충 및 고도화, 신뢰성 있는 차세대 선행기술개발 및 시제품 제작·성능평가 실증데이터 제공에 나선다. 종합반도체 대기업-중소기업-공공 테스트베드 간 연계협력 생태계 기반 구축도 추진한다.
이조원 나노종기원 원장은 “최근 반도체 장비 가격 급등, 납기 지연 등으로 장비 확보가 어려운 상황에서 보유 장비 이전을 결정한 삼성에 감사하다”며 “소부장 관련 기업이 필요로 하는 장비 및 공정기술 플랫폼 고도화와 개발 결과물이 수요기업에 신속히 적용될 수 있도록 대기업 등 관련 기업 연계 협력을 강화해 소부장 기술자립을 앞당길 수 있도록 노력하겠다”고 밝혔다.
김영준기자 kyj85@etnews.com
