큐알티가 '반도체 소자 방사선 평가 시스템' '빔의 특성 평가 시스템' 특허 2종 등록을 완료했다고 11일 밝혔다. 반도체 소프트에러 평가를 보다 정밀하고 신속하게 수행하는 기술이다.
해당 특허는 △반도체가 방사입자에 노출됐을 때 발생하는 현상을 정확하게 분석할 수 있는 반도체 동작 기술 △빔 시설 선속(flux)·빔 영역 균일도를 고려한 유효선량 측정 기술 △고장 현상 분류 검출 알고리즘을 기반으로 개발됐다.
큐알티는 한국산업기술평가관리원(KEIT)의 차세대 지능형 반도체 기술개발 사업 국책과제 '중성자에 의한 반도체 소프트에러 검출 상용화 장비' 개발 과정에서 특허 기술을 도출했다. 외부 요인에 의한 오차를 최대한 줄이고 측정 반도체의 소프트에러 민감성만 정확히 검출할 수 있는 내용이 포함됐다.
큐알티는 신규 특허를 통해 다양한 가속시설 환경에 따른 소프트에러 특성을 수치로 정량화하게 됐다. 상호 연관성 있는 세부 데이터도 확보해 반도체 소프트에러 강건성을 확보하는 기술적 토대도 마련했다.
큐알티는 미국 LANSCE(Los Alamos Neutron Science Center)와 캐나다 국립입자가속기센터(TRIUMF) 등 해외 중성자 연구소와 공동연구를 진행하고 있다. 첨단 기술 보호를 위해 국내와 미국, 유럽 등을 대상으로 해외 특허(PCT)를 출원한 상태다.
정성수 큐알티 최고기술책임자(CTO)는 “최근 고밀도·고집적화 반도체 사용이 늘어나며 소프트에러 평가 의무화와 개선대책 수립에 대한 관심이 높아지고 있다”며 “큐알티 평가 기술력으로 국내 반도체 생태계가 성장할 수 있도록 연구개발 분야 투자를 지속하겠다”고 말했다.
송윤섭기자 sys@etnews.com
