SK하이닉스가 국내 최초로 반도체 필수 원료인 네온가스 국산화에 성공한 후 공정 도입 비중을 40%까지 확대했다고 5일 밝혔다. 또 2024년까지 네온가스 전량을 국산화할 계획이다. 네온은 반도체 노광공정에 사용되는 엑시머 레이저 가스의 주재료다. 엑시머 레이저로는 웨이퍼에 미세한 회로를 새길 수 있다. 네온은 엑시머 레이저 가스 성분에서 95%를 차지하지만 공기 중에는 0.00182%밖에 존재하지 않을 정도로 희소하다.
SK하이닉스는 지난 4월 국내 최초로 노광 공정에 국산 네온을 도입했다. 이전까지 국내 반도체 기업은 네온을 수입에만 의존했다. 수년간 해외의 주요 생산 지역에서 국제정세 불안으로 네온 가격이 급등할 조짐을 보이자 선제적으로 수급 불안 해소에 나섰다.
SK하이닉스는 올해 초 협력사인 반도체용 가스 제조기업 TEMC, 포스코와 함께 네온가스 생산 기술을 국산화했다. 공기 중에 희소하게 섞여 있는 네온을 채취하기 위해선 대규모 공기 분리 장치(ASU 플랜트)가 필요, 초기 투자 비용이 많이 든다. SK하이닉스는 TEMC, 포스코와 함께 기존 설비를 활용하면서 적은 비용을 들여서 네온가스를 생산하는 기술을 개발했다.
국산 네온은 포스코에서 생산된 후 TEMC 가공을 거쳐 SK하이닉스에 공급된다. SK하이닉스는 현재 전체 네온 사용량의 40%를 국산으로 대체했다. SK하이닉스는 내년 6월까지 식각 공정에 쓰이는 크립톤, 크세논 가스도 국산화한다. 첨단 반도체 기술 개발에 필요한 자원을 지속 확보, 원자재 수급 리스크를 최소화할 계획이다. 윤홍성 SK하이닉스 FAB원자재구매담당 부사장은 “국제정세로 불안한 공급 상황도 국내 협력사와 함께 수급 안정화에 기여했다”면서 “지속적인 협력을 통해 반도체 원재료 공급망을 강화할 것”이라고 밝혔다.
송윤섭기자 sys@etnews.com
