티이엠씨가 미국 나스닥 상장사 인테그리스가 제기한 반도체 이온 주입용 안전용기 특허소송에서 승소했다고 1일 밝혔다. 국산 반도체 특수가스 양산이 더욱 확대될 것으로 보인다.
인테그리스는 티이엠씨가 개발한 안전용기에 대해 지난 2020년 12월 서울지방법원에 특허권침해금지·손해배상 소송을 제기했다. 특허심판원은 인테그리스 특허의 효력을 인정하지 않고 티이엠씨 손을 들어줬다. 이에 따라 서울지법에 제기된 소송도 지난 10월 기각됐다. 추가 항소 없이 소송이 종결되며 티이엠씨 독자 기술을 인정받았다.
양사가 특허권을 놓고 소송을 벌인 안전용기는 반도체 공정에 사용되는 맹독성 특수가스 누출을 차단한다. 이온주입(Ion Implant) 장비에 장착돼 공정에 활용된다. 티이엠씨는 독자 기술로 안전용기(SVC Package)를 개발했다. 지난해 양산해 고객사에 공급해왔다.
반도체 특수가스 안전용기는 그간 글로벌 공급사인 인테그리스와 린데가 시장을 주도해왔다. 티이엠씨는 특허소송에서 승소한 만큼 반도체 특수가스와 안전용기 양산이 확대될 것으로 기대했다. 티이엠씨는 희귀가스 재활용과 초저온 가스 생산 확대 등으로 고객사도 다변화한다.
유원양 티이엠씨 대표는 “이번 소송을 통해 티이엠씨 독자 기술을 인정 받았다”며 “안정적인 소재 공급으로 해외 의존도 완화에 기여할 것”이라고 말했다.
송윤섭기자 sys@etnews.com
