반도체 로봇 자동화 솔루션 기업 라온테크(대표 김원경)는 오는 1~3일 사흘간 서울 강남 코엑스에서 열리는 '2023 세미콘코리아(SEMICON Korea)'에 참가해 다이렉트 드라이브 모터(DDM) 등 혁신 기술을 접목한 반도체 진공 로봇을 선보인다고 25일 밝혔다.
DDM은 감속기·자성유체씰 등 부품을 사용하지 않고 동력을 직접 전달해 고온·고진공 환경에서도 작동하는 진공 로봇 핵심 부품으로 성능 향상, 공간 최소화, 유지보수 경감 등 장점이 있다.
라온테크가 이번에 출품하는 웨이퍼 진공 로봇 '백트라(VACTRA)-QD'는 현재 반도체 생산 라인에 양산 공급 중인 4암(Arm) 진공 로봇 '백트라-Q'에 경쟁사 대비 한발 앞서 독자 개발에 성공한 DDM을 적용한 신제품이다.
진공 환경에서도 작동하는 DDM은 로봇 진동을 50% 수준으로 줄일 뿐만 아니라 파티클(미세 입자) 발생도 현저히 줄일 수 있다. 또 4개 로봇 암이 좌·우 웨이퍼를 개별적으로 제어해 정밀도를 2배 높이고 생산성을 25% 증가시켰다.
또 다른 웨이퍼 이송 진공 로봇인 '백트라 코멧(VACTRA-Comet)'은 설치 공간(Foot Print)을 대폭 줄이는 대신 공정 챔버를 10개 이상 장착할 수 있는 반도체 이송 로봇 시스템이다. 기존 백본(Back-bone) 시스템은 진공 로봇 2대를 사용하고 가운데 버퍼를 둬 다단으로 웨이퍼를 이송했지만 라온테크가 독자 개발한 백본시스템은 진공 로봇 1대로 최대 12개 공정 챔버 대응이 가능한 혁신적인 기술을 적용했다.
이에 '백트라 코멧'은 진공 로봇 1대를 사용하고 버퍼를 제거해 설치공간을 줄였다. 특히 버퍼를 거치지 않고 웨이퍼를 곧바로 공정 챔버에 이송해 파티클 발생 요인을 현저하게 줄일 수 있는 게 장점이다.
라온테크 관계자는 “최근 새로운 콘셉트 진공 로봇 '백트라 피너클(VACTRA-Pinnacle)'이란 모델을 미국과 중국 반도체 장비 고객사로부터 수주받았다”면서 “본격적으로 글로벌 반도체 제조 시장 공략에 나선다”고 말했다.
회사 관계자는 “끊임없는 기술 혁신과 투자를 통해 더욱 진보한 신규 콘셉트 반도체 진공 로봇과 진공 이송 모듈을 개발하는 등 고객 반도체 제조 공정을 혁신하는 우수 기술을 지속 선보일 것”이라고 전했다.
안수민기자 smahn@etnews.com
