한국산업기술시험원(KTL)이 반도체 생산공정에 사용되는 초순수 생산기술 자립화를 위해 초순수 생산기술에 대한 시험평가법을 개발한다. 일본, 미국, 프랑스 등에 대한 해외의존도를 낮추고 핵심기술 산업경쟁력을 제고하겠다는 취지다.
KTL은 지난 7일 충남 중부발전 보령발전본부에서 한국중부발전, KAIST, 한국물기술인증원과 '고순도 공업용수(초순수) 생산 국산화 기술개발 양해각서(MOU)'를 교환했다고 8일 밝혔다.
초순수는 반도체 표면에서 각종 부산물, 오염물 등을 세척하는 데 사용하는 불순물이 거의 없는 공업용수다. 최고 난이도 수(水)처리 기술이 필요하기 때문에 해외기술 의존도가 높다.
MOU는 구체적으로 △초저농도 용존산소 제거용 탈기막(MDG) △초저농도 유기물 제거용 자외선 산화장치(UV-TOC) △초저농도 이온물질 제거용 이온교환수지(MBP) 등 초순수 공정 전반에 걸친 국산화 소재 및 기자재 연구를 함께 수행하는 내용이다.
구체적으로 KTL은 초순수 국산화 장비를 거쳐서 나온 용수에 대한 품질과 장비 성능에 대한 시험평가법 개발 및 표준 마련을 추진한다. △KAIST는 수처리 과정에서 배관 등 기자재에서 발생할 수 있는 용출에 대한 성능평가법 개발과 표준 마련 △한국물기술인증원은 용수·용출 성능평가법을 기반한 성능 인증제 발굴 △중부발전은 성능평가 시설 구축과 일 평균 공업용수 2400톤(t) 제공 등을 수행한다.
고영환 KTL 환경기술본부장은 “국가 핵심기술인 반도체 공정용 초순수 개발은 반도체 기반산업 구축의 초석”이라면서 “초순수용 설비 성능평가법 표준화 및 국산과 외산의 비교 성능시험을 통해 우리나라 기술이 국내뿐만 아니라 세계에서도 경쟁할 수 있도록 최선의 노력을 다하겠다”고 밝혔다.
김영호기자 lloydmind@etnews.com
