에프에스티(FST)가 극자외선(EUV) 펠리클 장비 공급에 성공했다. 펠리클은 반도체 노광 공정에 쓰이는 소재다. 반도체 회로 패턴이 그려진 마스크 손상을 최소화한다. 초미세 반도체 제조에 EUV가 필수고, EUV 공정에서 펠리클을 사용하는 경우가 늘고 있다. EUV 공정에 국산 소재나 부품, 장비가 활용되는 경우가 극히 드문데 에프에스티가 첫 발을 내미는데 성공해 주목된다.
FST는 국내 반도체 제조사로부터 극자외선(EUV) 펠리클 탈부착 및 검사 장비를 수주했다고 17일 밝혔다. 고객사는 영업비밀을 이유로 공개하지 않았다. FST가 펠리클 관련 장비를 판매한 건 이번이 처음이다.
먼저 탈부착(마운팅&디마운팅) 장비는 EUV 펠리클을 EUV 마스크에 자동으로 붙이는 설비다. EUV 펠리클은 장당 수억원에 달하는 고가의 부품이다. EUV 마스크를 보호하는 역할을 한다. 기존에는 펠리클을 마스크에 탈부착 과정 상당수가 수작업으로 이뤄졌다. 오염에 노출되기 쉬울 뿐 아니라 작업 속도도 느려 EUV 펠리클 도입의 걸림돌로 작용했다.
FST는 100% 자동화했다. 이를 통해 공정 오염 가능성을 줄이고 웨이퍼 작업량을 뜻하는 '스루풋'도 향상시킬 수 있다.
FST는 EUV 펠리클 인스펙션 장비도 함께 수주했다. EUV 펠리클 핵심 구성 요소인 멤브레인과 프레임의 이물질을 검사하는 것으로, EUV 펠리클 오염도나 수명 등을 확인할 수 있다. EUV 펠리클 교체 주기 등 실증 데이터를 확보하는데 도움을 준다.
EUV 펠리클 인스펙션 장비는 반도체 제조공정뿐 아니라 EUV 펠리클 개발 및 생산 업체도 활용이 가능하다. 반도체 제조사 외 소재·부품 업체로 수요가 예상된다. FST 역시 자체 EUV 펠리클을 개발하고 있다. 회사도 해당 검사 장비를 적극 활용할 방침이다.
FST의 이번 장비 공급은 외산 중심으로 구성된 EUV 생태계에 국내에서 개발된 장비가 진입했다는 데 의미가 있다. EUV는 노광장비를 네덜란드 ASML이 독점 공급 중이며, 펠리클과 EUV용 포토레지스트 등도 일본에 의존하고 있다. 기술 진입 장벽이 두텁기 때문으로 FST 장비가 양산에도 활용될지 주목된다.
FST 관계자는 “향후 주요 반도체 제조 업계에서 EUV 공정이 활성화되면 관련 장비 수요도 크게 증가할 것으로 기대한다”면서 “현재 개발 중인 EUV 펠리클 양산성 확보에도 기여하게 될 것”이라고 전했다.
권동준 기자 djkwon@etnews.com
