세메스가 반도체 물류자동화 핵심 장비인 'OHT(Overhead Hoist Transport)' 양산 1만호기를 출하했다.
OHT는 반도체 라인 천장에 설치된 고정 레일을 따라 웨이퍼가 담긴 통(FOUP)을 각 공정장비로 옮기는 이송시스템이다.
반도체 제조 공정에서 빼놓을 수 없는 장비로, 웨이퍼가 오염되는 것을 방지하고 노광이나 식각 등 각 공정 간 신속한 운반을 통해 생산성 향상을 돕는다.
이 장비는 일본 업체로부터 전량 수입에 의존해오다 지난 2011년 세메스가 자체 개발했다. 세메스는 삼성전자 자회사로, 지금까지 매년 수천억원의 수입대체 효과를 거두고 있다.
OHT는 먼지와 진동을 최소한으로 줄이면서 최대한 빠른 속도로 이송하는 것이 경쟁력이다.
세메스는 내년 상반기 차세대 OHT를 선보일 계획이다. 이 장비는 초당 직선으로 5m, 곡선에서 1m를 조용하게 먼지없이 움직일 수 있다.
기존 대비 웨이퍼 적재시간 및 진동은 줄이고, 이송 하중은 늘려 반송효율을 30% 이상 크게 향상시켰다. 또 첨단 소프트웨어 기술을 적용해 라인내 생산 물류 흐름을 최적화한다.
OHT는 반도체 자동화설비로 주로 이용되지만 다양한 일반 산업현장에서도 무인자동화·물류이동 효율화 방안으로 활용 가능해 향후 수요 확대가 예상된다.
정태경 세메스 대표는“OHT를 반도체 라인에 설치하려면 공정흐름 전반의 정보와 개별 설비 상태를 실시간으로 관리하며 최적의 생산시스템이 되도록 하는 것이 핵심”이라며 “이를 독자기술로 확보해 10000호기까지 실적을 시현한 큰 성과”라고 말했다.
한편, 세메스는 OHT 외에도 고층 타워 리프트, 모바일 로봇, 후공정 반송물(SSD Tray, Cassette, Tray) 자동화 스토커 시스템 구축을 통해 물류자동화 설비 제품군을 다변화하고 있다.
박진형 기자 jin@etnews.com
