반도체·디스플레이 공정 진단 및 검사 솔루션 업체인 쎄미시스코가 장비업계 강소기업으로 부상하고 있다.
쎄미시스코(대표 이순종)는 올 하반기 플렉시블(flexible) 기판 검사 장비를 양산하고, 차세대 반도체 패키징 계측 장비 개발도 완료할 계획이라고 3일 밝혔다. 이순종 사장은 “올해 양대 주력 사업인 플라즈마 공정 진단 및 유리기판 검사 장비 수출을 확대하고 신 장비 개발에도 박차를 가할 것”이라며 “장비 시장이 위축된 올해에도 전년과 비슷한 130억원 수준의 매출을 올릴 계획”이라고 말했다.
쎄미시스코는 반도체·디스플레이 전공정 장비인 드라이에처, 화학증착기(CVD) 등에 사용되는 플라즈마 상태를 진단하는 계측 장비를 선도적으로 개발했다. 동작 중인 체임버의 플라즈마 상태를 발광 분석법을 이용해 실시간 진단하는 `스마트 EPD`는 국내 최초로 국산화했다. 또 진공장비의 체임버 외부 공기 유입 여부를 자동으로 검출하는 `스마트 HMS`는 세계 처음 상용화했다.
이들 제품은 국내 반도체·LCD 업체에 다수 공급됐으며, 이 같은 성과를 바탕으로 해외 수출도 본격화하고 있다. 이 사장은 “올해는 중국 LCD 업체들의 투자 확대에 적극 대응한다는 전략”이라며 “고객사 다변화 전략 덕분에 시장 변화에 유연하게 대처할 수 있다”고 강조했다.
디스플레이용 유리기판의 4면 및 표면 복합 검사가 가능한 검사장비는 플렉시블 기판으로 응용처를 확대한다. 조만간 양산 공급이 가능할 전망이다. 또 차세대 반도체 적층 기술로 주목받고 있는 실리콘관통전극(TSV)용 계측 장비도 연내에 시제품 개발을 끝낸다는 계획이다.
이 사장은 “차별화된 기술력으로 신개념 장비를 지속적으로 개발해 세계적인 성공 모델을 만들겠다”고 강조했다.
(단위:억원, E는 전망치)
양종석기자 jsyang@etnews.com