다이본딩 필름을 놓고 소송전을 벌이던 일본 히타치화성과 국내업체 이녹스 간 법정 공방에서 히타치화성이 유리한 고지를 점령했다. 이번 판결로 일본 소재 업체의 견제가 더욱 심해질 것으로 전망된다.
히타치화성(대표 다나카 가즈유키)은 이녹스가 지난해 4월 한국 특허심판원에 제기한 다이본딩필름(DAF) 특허(제723980호)에 대한 특허무효심판에서 승 판정을 받았다고 12일 밝혔다. 이녹스는 지난해 4월 한국에서 특허 무효소송을 제기한 바 있다.
DAF는 반도체 칩과 회로기판, 칩과 칩을 연결할 때 쓰는 초박형 필름 접착제다. 반도체 후공정에서 플래시 메모리, 솔리드스테이트드라이브(SSD) 등을 제작할 때 쓰이는 소재다.
히타치화성은 지난 2011년 국내 반도체 장비·소재 업체인 케이씨텍을 상대로 화학적기계연마(CMP) 세리야 슬러리 특허권을 침해했다며 미국 텍사스주 오스틴 서부지방법원에 소송을 제기하는 등 국내 소재 업체를 상대로 전방위 특허전을 벌여 왔다. 지난 1월 이녹스를 상대로 DAF 관련 특허를 침해했다며 대만에 소송을 제기하자 이녹스는 대응책으로 국내에서 특허무효소송을 냈다.
히타치화성 관계자는 “앞으로도 지식재산권 경쟁 우위를 확보하기 위해 적극적으로 권리를 행사할 것”이라고 말했다.
오은지기자 onz@etnews.com