[미리보는 세미콘코리아2018]SK머티리얼즈, SK트리켐과 특수가스·전구체 전시

SK머티리얼즈는 오는 31일부터 2월 2일까지 서울 삼성동 코엑스에서 열리는 세미콘코리아 2018에 반도체와 디스플레이 공정에 사용되는 특수가스를 출품한다. SK머티리얼즈가 일본 트리케미컬(Tri-Chemical)과 합작해 2016년에 설립한 SK트리켐도 반도체용 전구체(Precursor) 제품을 선보인다.

SK머티리얼즈는 국내 최초로 삼불화질소(NF3)를 생산, 국산화에 성공했다. 현재 연간 1만600톤 규모 생산 설비를 보유하고 있다. 생산량 면에선 세계 1위다. NF3는 화학기상증착(CVD) 장비 챔버 내 남아 있는 잔류물을 화학 반응으로 제거할 때 사용된다. SK머티리얼즈는 NF3 외에도 배선 공정시 금속 재료로 사용되는 육불화텅스텐(WF6), 실리콘 증착시 쓰이는 모노실란(SiH4) 등 반도체, 디스플레이 공정용 특수가스를 생산 판매하고 있다.

2016년 2월 SK그룹으로 인수되면서 특수가스뿐만 아니라 종합소재 기업으로 거듭나고자 기존사업에선 선제적으로 투자하고 제품 포트폴리오를 다각화해 사업 확장에 박차를 가하고 있다.

SK트리켐은 D램과 3D 낸드플래시 반도체의 주요 소재 중 하나인 지르코늄(Zr)계와 실리콘(Si)계 전구체를 생산 판매하는 회사로 SK머티리얼즈와 전구체 분야 기술력을 보유한 일본 트리케미컬이 각각 65%, 35% 지분율로 투자해 설립했다.

장용호 SK머티리얼즈 대표는 “이번 세미콘코리아를 통해 SK머티리얼즈 기존 특수가스 제품과 함께 전구체 분야의 신규 제품군을 선보이고 판매 확대에 주력하겠다”면서 “SK머티리얼즈는 IT소재 산업의 글로벌 선도 업체로 성장하기 위해 다양한 신규 아이템 발굴과 연구개발(R&D)에 역량을 집중하고 있다”고 설명했다.

SK머티리얼즈는 SK트리켐 외에도 2016년 4월에 산업가스를 생산 판매하는 SK에어가스를 인수하고, 같은해 12월 일본 쇼와덴코(Showa Denko)와 탄소·불소(CF)계 식각가스를 생산 판매하는 SK쇼와덴코를 합작 설립했다.

한주엽 반도체 전문기자 powerusr@etnews.com