SK하이닉스가 일본산 액체 불화수소(불산액) 대체를 시작했다.
2일 업계에 따르면 SK하이닉스는 그동안 준비해온 대체 불화수소에 대한 평가를 마치고 지난 1일부터 양산 라인에 투입한 것으로 확인됐다.
적용된 제품은 국내 램테크놀러지의 액체 불화수소다. 램테크놀러지는 반도체·디스플레이 공정용 소재를 만드는 기업이다. 이 회사는 일본 정부가 강제징용 판결에 대한 보복 움직임을 보이자 작년 말부터 SK하이닉스와 액체 불화수소 공급을 준비해왔다.
SK하이닉스가 지난 7월 4일 수출 규제 후 반도체 양산에 대체품을 투입한 건 처음이다. SK하이닉스는 그동안 일본 스텔라와 모리타, 국내 솔브레인 등이 만든 액체 불화수소를 사용해왔다. 일본 정부의 수출 규제 시행으로 수급 우려가 현실화되자 램테크놀러지 제품을 본격 투입하기 시작한 것으로 풀이된다.
SK하이닉스에 앞서 삼성전자도 대체 불화수소를 적용하기 시작해 국내 반도체 업계가 일본의 수출 규제 압박에 대처하는 모습을 보이고 있다.<본지 2019년 9월 4일자 1면 참조>
SK하이닉스는 가스 형태의 기체 불화수소 수입에 대한 일본 정부 승인도 받은 것으로 확인됐다. 지난달 30일 일본 쇼와덴코 기체 불화수소에 대한 허가가 났다. 불화수소는 반도체 회로를 깎는 식각과 세정 공정에 사용된다. 액체 불화수소 사용량이 많고, 가스 형태의 기체 불화수소는 비중이 적다.
SK하이닉스는 7월 규제 시행 후 약 3달 동안 일본에서 허가를 받지 못했는데 사전 확보한 재고와 공정 개선 등의 노력으로 반도체 생산에 차질이 없었던 것으로 전해졌다.
윤건일기자 benyun@etnews.com
