[미리 보는 테크위크 2020 LIVE] 글로벌 소재·부품 기술 주도 '귀한 몸' 한자리에

오는 16일부터 사흘 동안 전자신문사 주최로 열리는 '테크위크 2020 LIVE'에는 글로벌 유력 반도체 소재·부품 업체들이 연사로 나선다. 인프리아, 머크, MKS, 에스앤에스텍 등 일반 대중이 공식 자리에서 쉽게 만날 수 없는 화제의 회사들이 시선을 끈다. 글로벌 시장에서 최첨단 기술로 영향력을 과시하는 이들이 어떤 기술로 청중과 공유할지 관심을 모으고 있다.

우상윤 인프리아 Korea Country Manager.

인프리아의 우상윤 매니저는 새로운 콘셉트의 극자외선(EUV) 포토레지스트(PR) 기술과 양산 로드맵을 소개한다. 인프리아가 한국 청중을 상대로 자사 PR 기술과 생산성을 발표하는 사례는 이번이 처음이다.

인프리아는 EUV 공정에서 반도체 회로 모양을 더욱 정밀하게 찍어 낼 수 있는 PR 양산을 준비하고 있다. PR는 빛으로 회로 모양을 반복해서 찍어 내는 노광 공정을 위해 웨이퍼 위에 반드시 도포하는 물질이다.

인프리아가 개발하는 EUV 공정용 PR는 독특하다. 현재 EUV 양산 라인에 투입되고 있는 PR는 유기물로 구성돼 있지만 인프리아 제품은 분자 크기가 기존 PR보다 약 5분의 1 작은 무기물을 기반으로 하여 만들어진다. 인프리아는 유기물보다 조밀하고 단단한 장점이 있어 미세한 회로를 더 정확하게 깎아 낼 수 있다고 설명한다. 특히 2년 전부터 이 제품을 양산화하는 작업에 착수, 현재 양산 직전 단계에 있다.

우 매니저는 2일 “유력 반도체 기업과 차세대 3나노용 제품 개발을 위한 협업도 강화하고 있다”고 전했다.

인프리아 기술력을 인지한 삼성전자, SK하이닉스, 인텔 등 세계 유수의 반도체 제조사들은 일찌감치 투자에 뛰어들었다. 대만 TSMC가 소재 업체에 투자한 것은 인프리아가 최초 사례일 정도로 업계에서 기술력을 인정받고 있다.

아난드 남비어 머크 반도체 소재 헤드.

독일 화학기업 머크에서는 본사 핵심 경영진인 아난드 남비아르 반도체 소재 헤드가 '머크가 보는 차세대 반도체 소재와 한국 R&D 방향'을 주제로 발표한다.

머크는 반도체 재료 회사로, 6대 전 공정에 대응 가능한 재료 포트폴리오를 확보하고 있다. 전구체·특수가스를 생산하는 버슘머트리얼즈, 시뮬레이션을 활용한 반도체 공정 효율화를 추진하는 인터모큘라를 인수하면서 반도체 사업 덩치를 키우고 있다.

머크가 경기도 평택 송탄산업단지에 차세대 반도체 소재를 연구할 한국 첨단기술센터(K-ATeC)을 열었다. 앞쪽 흰색 건물이 K-ATeC이다.<제공: 머크>

한국머크는 최근 한국 현지화 전략에도 적극 나서고 있다. 머크는 지난 6월 경기 평택시 송탄산업단지에 350억원을 투자, 5층 높이의 새로운 연구개발(R&D) K-ATeC 센터를 개소했다. 머크는 첨단 설비가 집약된 새로운 R&D센터에서 화학처리기계연마(CMP) 슬러리 및 포스트 CMP 클리닝 기술 R&D를 수행한다.

남비아르 헤드는 “이번 행사에서 머크의 혁신 반도체 소재를 집중 소개하고, 한국머크의 R&D 역량을 키우기 위한 계획을 강조할 것”이라고 전했다.

정재철 MKS 코리아 상무.

정재철 MKS코리아 상무는 반도체 주요 부품인 고주파 파워 전원과 매칭 기술의 미래를 소개한다. MKS는 반도체 장비용 주요 핵심 부품 전반을 세계 주요 장비사에 공급하는 업계 1위 회사다.

MKS RF 제너레이터. <사진=MKS PSA>

특히 MKS의 초고주파(RF) 부품은 반도체 장비 핵심이자 회사의 주력 제품이다. RF 부품인 RF 매처와 제너레이터는 반도체 식각·증착 장비 안에서 자동차의 엔진 같은 역할을 한다.

MKS의 RF 부품 R&D는 미국 로체스터 사업장과 한국 대전사업장 두 곳에서 이뤄진다. 대전사업장은 아시아 주요 고객사의 플라즈마 장비 개발을 지원한다.

대전사업장에서 핵심 RF 제품 개발을 맡고 있는 정 상무는 RF 시스템의 역할, 초미세화에 대응하는 RF 플라즈마 기술의 중요성을 설명할 계획이다. 이와 함께 MKS 현지화 중심으로 한국 내 RF 생태계 육성 전략을 전달할 예정이다.

신철 에스앤에스텍 부사장.

신철 에스앤에스텍 부사장은 회사가 개발하고 있는 EUV 블랭크마스크와 펠리클 로드맵을 발표한다.

블랭크마스크와 펠리클은 노광 공정을 위해 필요한 핵심 소재다. 기존 불화아르곤(ArF) 공정용 블랭크마스크를 주력으로 하는 에스앤에스텍은 급변하는 EUV 시대에 대응하는 새로운 구조의 제품 개발에 한창이다.

지난 7월 에스앤에스텍은 삼성전자로부터 659억원을 투자 받았다. 최근 에스앤에스텍은 관련 기술 개발을 위해 100억원을 투자하고, 추가 부지를 매입하는 등 투자를 활발하게 전개하고 있다.

한편 올해로 세 번째를 맞는 테크위크 2020 LIVE는 '소부장(소재·부품·장비) 강국, 기술에 길을 묻다'를 주제로 국내외 20개 업체의 차세대 기술 소개가 진행된다. 또 산업통상자원부의 소부장 2.0 정책 강연과 함께 국내 소부장 생태계 진화 방향에 대한 질의응답이 이뤄질 예정이다. 행사는 온라인 생중계로만 참관할 수 있고, 사전등록은 행사 홈페이지에서 15일까지 진행된다.

강해령기자 kang@etnews.com