램리서치, ASML, 도쿄일렉트론(TEL) 등 세계적 반도체 장비사들이 지난 3분기에도 호실적을 거뒀다. 코로나19 언택트 수요 증가로 메모리와 첨단 시스템반도체 설비 투자가 늘어나자 장비 업계도 긍정적 영향을 받은 것으로 풀이된다.
4일 업계에 따르면 램리서치, ASML, 도쿄일렉트론 등 주요 장비 회사들의 지난 3분기에도 좋은 실적을 거뒀다. 지난해 겪었던 메모리 반도체 불황기 대비 큰 폭으로 성장한 모습을 보였다.
미국 장비 업체 램리서치는 지난 3분기 9억6100만달러(약 1조1000억원)의 영업이익을 거뒀다. 지난해 같은 기간보다 79% 증가한 수치다. 매출은 31억7700만달러(약 3조6100억원)으로 역대 최대 분기 매출이다.
램리서치는 식각 장비 강자다. 한 예로 100단 이상 낸드플래시에 한 번에 구멍(채널 홀)을 뚫는 식각 기술을 램리서치가 구현하는 것으로 알려져 있다.
최근 코로나19 팬데믹으로 인한 언택트 수요가 반도체 시장 성장을 이끌면서, 첨단 메모리 반도체를 만들 수 있는 장비 납품도 늘어난 것으로 풀이된다.
팀 아처 램리서치 CEO는 3분기 실적 발표회에서 “PC, 스토리지, 네트워킹 수요가 올라가면서 램리서치 사업에 긍정적 모멘텀이 되고 있다”고 밝혔다.
일본 TEL의 3분기 실적도 증가했다. TEL의 반도체 장비(SPE) 분야 매출은 3316억엔(약 3조6000억원)으로 지난해 같은 기간보다 22% 올랐다.
반도체 전공정 장비 전반을 생산하는 TEL은 특히 노광 공정에서 포토레지스트를 도포하고 디벨롭하는 트랙 장비에서 상당한 기술을 지닌 회사다. 특히 최근 주목 받는 극자외선(EUV)용 트랙 장비는 90% 이상 점유율을 확보하고 있다.
TEL은 이번 실적 발표에서 올해 반도체 시장을 분석하면서 “올해 2, 3분기 D램은 10나노급 3세대(1y) 제품 관련 설비 투자가 전체 80%를 차지하고 낸드플래시 분야 또한 90단, 120단 이상 낸드플래시 설비 투자 비율이 80%를 넘는다”면서 “일부 고객사는 당초 계획보다 더 많은 투자를 진행하고 있다”고 분석했다.
네덜란드 ASML은 지난 3분기 12억1600만유로(약 1조6100억원) 영업이익을 남기며 지난해 같은 기간보다 갑절 가까이 성장한 실적을 기록했다.
ASML은 EUV 노광 원천 기술로 관련 장비를 독점 생산하는 회사로, 최근 반도체 장비 분야에서 가장 주목받는 업체다.
반도체 장비 업계는 코로나19 바이러스 확산으로 인한 언택트 수요 확대가 지속적으로 매출에 긍정 영향을 줄 것으로 예상하고 있다.
분기 최대 매출을 기록한 램리서치는 4분기 역대 최대 분기 실적을 상회하는 33억달러를 기대했다. 또 피터 베닝크 ASML CEO는 “글로벌 정치 환경과 코로나19 등으로 불확실성이 있지만, 5G, 인공지능(AI) 및 고성능 컴퓨팅 분야에서 로직과 메모리 반도체 수요가 지속되고 있어 내년에는 낮은 두 자리수 성장을 예상한다”고 전했다.
국제반도체장비재료협회(SEMI)는 내년 세계 팹 장비 투자액은 650억달러 이상으로 올해보다 13%가량 오를 것으로 예상하는 등 내년 반도체 장비 시장을 낙관적으로 봤다.
강해령기자 kang@etnews.com