[반도체의날 '국무총리표창']임태준 버슘머트리얼즈한양기공 대표

임태준 버슘머트리얼즈한양기공 대표는 웨이퍼 가공용 특수 가스 공급 장비와 플랜트 자체 개발 성과를 인정받아 국무총리표창을 받았다. 임 대표는 국내 최초로 가스·화학 소재 대용량 공급시스템(ISO)을 개발했다. ISO 경우 세계 최초 상용화 사례다.

버슘머트리얼즈한양기공은 해외 선진 기술 도입과 자체 기술 개발로 원거리에서 안정적으로 초고순도 독성 가스를 공급하는 기술을 확보했다. 초고집적도 반도체 생산에 기여했다. 협력 업체 및 고객과의 상생 협력으로 지속적인 국산화에 노력한 공로도 인정받았다.

권동준기자 djkwon@etnews.com