대만 반도체 위탁생산(파운드리) 업체 TSMC가 이달 말 '하이(High) 뉴메리컬애퍼처(NA) 극자외선(EUV)' 노광장비를 도입한다.
17일 중국시보 등 대만언론에 따르면 TSMC는 ASML로부터 하이 NA EUV 노광장비를 평균판매가격(ASP)인 3억5000만 유로(약 5162억원)보다 할인된 가격에 구매했고 이달 내 배송받아 설치에 들어갈 예정이다.
ASML은 세계에서 유일하게 EUV 노광장비를 만드는 기업이다. 하이NA EUV 노광장비는 2나노미터(㎚) 아래의 더 미세한 반도체 회로를 구현하기 위해 필요한 차세대 장비다. 반도체 제조사 중에서는 인텔이 지난 4월 미국 오리건주 연구개발(R&D) 센터에 처음으로 도입한 바 있다.
TSMC는 4분기 하이NA EUV 장비를 도입할 예정이라고 알려졌으나 시기가 당겨졌고 무엇보다 할인을 받았다. TSMC는 파운드리 시장 독보적 1위로 ASML 최대 고객이다. 향후 수요가 경쟁사 대비 빠르게 늘어날 수 있기에 ASML도 이같은 점을 고려해 할인을 적용한 것으로 풀이된다.
대만언론들은 TSMC가 해당 장비를 A16(1.6나노미터급) 등 최선단공정에 해당 장비를 사용할 것으로 예상했다.
TSMC와 ASML은 이와 관련해 입장을 내지 않았다.
박진형 기자 jin@etnews.com
