TSMC가 연내 1.4나노미터(㎚) 시험 생산을 위한 소규모 라인을 구축한다고 대만 연합보(UDN)가 31일 보도했다.
연합보는 TSMC가 협력사에 1.4나노에 필요한 장비 공급을 준비하라고 통지했다고 전했다. 시험 생산라인은 신주 바오산 제2공장에 설치할 계획으로 이는 연구개발(R&D) 목적이다.
TSMC는 기존 2나노 공정으로 사용 예정이던 바오산 '팹 20'의 페이즈 3~4 클린룸을 1.4나노 용도로 전환했다. 이외에도 타이중에 위치한 팹 25의 페이즈 1~4 클린룸도 1.4 나노 용도로 건설 중이다.
1.4나노는 2027년 시험 양산을 시작해 2028년 하반기 본격 양산에 돌입할 예정이다.
연합보는 TSMC가 향후 대만에 3000억 달러 이상을 투자할 계획이라고 강조했다.
박진형 기자 jin@etnews.com
