세계 10대 반도체 장비 회사로 손꼽히는 네덜란드 ASM이 국내 두 번째 연구개발(R&D)·제조센터를 만든다. 2019년 첫 R&D·제조센터를 개소한 뒤 R&D와 제조역량을 강화하기 위한 투자로, 반도체 웨이퍼 박막을 형성하는 플라즈마원자층증착(PEALD) 장비를 한국서 만든다.
ASM은 1억달러를 투입, 경기 화성에 ‘제2 R&D·제조센터’을 짓겠다고 23일 밝혔다. 2025년 가동을 목표로 24일 기공식을 가질 예정이다. 3만1000제곱미터 면적에, 약 200명 이상 신규 인력을 채용할 계획이다.
ASM 한국 법인 ASMK 김용길 회장은 “화성 제2제조연구혁신센터는 빠르게 늘어나는 국내 직원 규모를 수용하는 시설을 갖추고 동시에 첨단 반도체의 글로벌 수요에 대응하는 한국의 역할을 반영하는 투자”라고 설명했다.
ASM은 증착 공정용 장비를 주력으로 하는 회사다. 1968년 네덜란드에서 설립됐다. 매출 규모 기준 세계 10대 장비사로 꼽힌다. 1995년 ASM 100% 지분의 자회사 ASMK를 설립, 한국 시장을 공략하고 있다. 2019년 화성 동탄에 R&D와 제조센터를 구축했다.
ASM은 제2 R&D·제조센터 신축으로 R&D 역량을 강화하고 생산 능력도 대폭 확대할 계획이다. 기존 1센터는 2만제곱미터인데 제 2센터는 이보다 50% 규모를 키웠다. R&D용 면적은 기존 2배, 생산 시설 면적은 3배로 확대된다. 주력 분야인 PEALD 생산 능력 확대와 기술 고도화에 투자가 집중될 예정이다.
PEALD는 웨이퍼 위에 얇은 막을 형성하는 장비다. 반도체 회로 미세화에 요구에 따라 각광받고 있다. 원자 크기의 두께로 박막을 만들 수 있어 첨단 D램, 낸드, 로직 반도체 제조에 활용된다. ALD 장비 대비 공정 속도를 보완해 반도체 생산성을 높일 수 있다.
ASM은 한국에서만 PEALD 장비를 생산하고 있다. 글로벌 시장에 공급하는 PEALD도 한국에서 생산된다.
벤자민 로 ASM 최고경영자(CEO)는 “한국은 반도체 시장에서 아주 중요한 역할을 맡고 있으며 ASM의 주요 고객사인 삼성전자와 SK하이닉스도 있다”며 “첨단 반도체 공정이 늘어나면서 PEALD 수요도 함께 증가해 이에 대응하기 위해 신규 센터에 투자하기로 했다”고 밝혔다.
PEALD를 포함한 ALD 장비 시장은 2020년 15억달러에서 2025년 최대 37억달러에 달할 것으로 전망된다. 연평균 20% 수준의 고속 성장이 예상된다.
ASM은 이번 투자를 통해 지역 일자리 창출에 기여하겠다고 밝혔다. 엔지니어링, R&D 제조 분야 국내 인재 양성과 인력 개발에도 힘쓸 계획이다. ASM은 화성시 인재 육성 재단에 1억원을 기부하기로 했다.
권동준 기자 djkwon@etnews.com
