반도체 공장 수율관리에도 인공지능(AI)이 활용된다. 반도체 불량률 감소와 비용절감에 기여할 전망이다.
29일 니혼게이자이신문은 도시바가 메모리 반도체 공장 생산 관리에 AI분석 시스템을 도입했다고 보도했다. 이 AI는 딥러닝을 사용, 생산성 저하 요인을 찾는 시간을 기존보다 3분의 1로 줄여준다. 일반적으로 반도체는 세세한 작업까지 합치면 공정이 2만회에 달한다. 또 회로 형성에서 제품화까지 3개월 정도 소요된다.
도시바는 요카이치 공장에 수율을 감시하는 AI를 도입했다. 반도체 회로를 형성하는 웨이퍼 불량 부분을 AI로 자동 분류한다. 불량 원인을 찾아내고 발생 추세 분석 등을 자동으로 시행한다. 지금까지는 노광이나 연마 등 주요 공정마다 웨이퍼 표면 온도와 전압 자료를 모으고 기술자가 이를 분석했다. 도시바는 AI 시험 도입 결과, 불량품이 있는 공정이나 설비 발견에 걸리는 시간을 기존 5~6시간에서 2시간 이내로 단축했다고 밝혔다.
도시바는 올해 중 AI를 이용해 웨이퍼 결함 검사도 실시한다. 사전에 결함이있는 웨이퍼 영상 정보를 읽어 딥러닝으로 분석한다. 웨이퍼 먼지와 표면 색 이상을 자동으로 감지한다. 도시바는 다른 공장에 확대 적용하고 시스템을 상품화해 타 기업 판매도 검토하기로 했다. 지난해 회계부정으로 어려움을 겪은 도시바는 경영 재건을 위해 반도체 사업을 강화하고 있다. 특히 낸드(NAND) 플래시 메모리는 앞으로 3년간 약 8600억엔을 투자한다. 요카이치 공장은 7월 새 차세대 메모리 생산 건물을 완성한다. 2017년부터 2년간 제조동을 추가건설하고 가동시부터 AI를 활용한다. 생산성을 끌어 올려 가격경쟁력에서 삼삼성전자을 추월할 계획이다. 앞서 소니는 지난 2005년부터 반도체 생산에 AI분석을 도입, 불량 원인을 파악 중이라고 니혼게이자이신문은 전했다.
권상희기자 shkwon@etnews.com
