삼성전자와 네덜란드 반도체 장비업체 ASML 공동연구소가 화성 동탄에 설립된다.
이재용 삼성전자 회장은 윤석열 대통령의 네덜란드 국빈 방문 동행을 마치고 15일 오전 서울 김포공항 비즈니스센터를 통해 귀국했다.
이 회장은 이번 순방 성과에 대한 취재진의 질문에 “반도체가 거의 90%였다”라고 말했다. 이어 반도체 사업을 총괄하는 경계현 사장이 “동탄에 공동 연구소를 짓고 차세대 노광 장비 하이 NA EUV(극자외선) 장비를 들여와 ASML 엔지니어와 삼성 엔지니어들이 같이 기술개발을 할 것”이라고 말했다.
삼성전자와 ASML은 지난 12일(현지시간) 네덜란드 ASML 본사에서 업무협약(MOU)을 맺고 7억 유로(약 1조원)를 투자해 차세대 노광장비 개발을 위한 EUV 공동 연구소를 설립하기로 했다.
메모리 시장 선두이자 파운드리 사업을 강화하고 있는 삼성전자는 하이 NA EUV 장비를 통해 기술경쟁력 강화를, ASML은 삼성과의 협력으로 차세대 공정 기술과 시장 주도권을 확보하려는 의도다.
하이 NA EUV 장비는 2나노미터(㎚·1㎚=10억분의 1ｍ) 공정 핵심 장비다. 삼성전자는 D램이나 로직 기술에서 하이 NA EUV 장비 활용을 극대화할 수 있는 계기를 마련했다는 평가다.
경 사장은 “장비를 경쟁사보다 빨리 들여온다는 관점보다 양사 엔지니어가 같이 공동 연구를 통해 삼성전자가 하이 NA EUV를 잘 쓸 수 있는 협력관계를 맺어가는 게 더 중요하다”고 강조했다.
이어 “EUV가 가장 중요한 툴 중 하나이기 때문에 이를 통해 전체적인 반도체 공급망 입장에서 굉장히 튼튼한 우군을 확보했다”고 평가했다.
박종진 기자 truth@etnews.com