국내 반도체 장비업계가 새해 외산 일색인 파운드리(위탁생산)공정 장비 시장을 공략한다. 파운드리 공정은 초미세 회로 구현을 요구해 메모리보다 장비 개발난도가 높다. 미국, 네덜란드, 일본 장비 회사가 독점해 온 이유다. 국내 반도체 장비 국산화는 20~30% 수준으로 미미한 편이었다. 반도체 테스트 등 후공정 분야에서는 상당한 국산화 진척을 이뤘지만, 노광 등 핵심 전공정에는 진입하지 못했다. 세정, 증착, 식각, 열처리 등 일부만 국산화했다.
원익IPS는 파운드리 공정 내 극자외선(EUV) 장비와 호환성을 갖춘 반도체 장비를 개발한다. 하드마스크 증착 장비와 원자층증착(ALD) 등 신규 장비 후보군을 검토 중이다. 원익IPS는 일부 파운드리용 장비가 있지만 구공정과 표준 공정에만 진입했다. 수요 증가가 예상되는 첨단 공정 장비에서도 국산화에 도전한다.
AP시스템은 기존 메모리 반도체용 급속열처리장비(RTP)를 파운드리 시스템 반도체용으로 개선한다. 상반기에 제품을 선보인다. 주성엔지니어링도 주력 제품인 ALD 장비와 화학기상증착장비(CVD)를 파운드리용으로 개선한다. 파운드리 고객사와 함께 개발 중인 것으로 알려졌다. 피에스케이도 파운드리에 적용할 수 있는 신규 장비를 공략한다. 이미 베벨 에처를 국산화한 피에스케이는 파운드리 등 모든 반도체 분야에 적용할 수 있는 식각장비 개발을 중장기 로드맵으로 설정했다. 미국 파운드리 투자에 따라 현지 인력도 확충한다.
장비 국산화는 주로 메모리 분야에 편중됐다. 반도체산업이 삼성전자와 SK하이닉스가 주도한 메모리 중심으로 발전했기 때문이다. 국산 파운드리용 장비 시장점유율은 한 자릿수에 불과하다. 반면에 세계 파운드리용 장비 시장은 미국 어플라이드머티어리얼즈(AMAT), 네덜란드 ASML, 일본 도쿄일렉트론(TEL), 미국 램리서치 등 외산 장비가 70% 이상을 독식하고 있다. 이들의 매출 중 최대 67%(AMAT)가 파운드리에서 나온다.
국내 장비시장이 성장하려면 파운드리 분야를 공략해야 한다. 삼성전자, TSMC, 인텔 등이 파운드리 신규 투자를 강화하는 추세다. 이경일 피에스케이 대표는 “파운드리 장비 개발은 성장률을 두 배로 끌어올리기 위한 사업 전략”이라고 설명했다.
신규 장비 개발에 막대한 시간과 비용이 투입돼야 한다. 장비업계는 지난해 사업 호조로 R&D 비용을 넉넉히 축적했다. 주요 반도체 장비 기업이 지난해 2~3분기에 이미 전년 매출을 달성하는 등 장비업계 호황이 이어졌다.
<파운드리&메모리 장비 투자 규모 전망>
(단위 : 10억달러)
자료=업계취합
권동준기자 djkwon@etnews.com
